ישנן דרכים רבות לייצראבקת סיליקון מתכתו להלן מספר שיטות ייצור עיקריות:
שיטת הפחתת סיליקה:
עקרון: סיליקה וסוכן הפחתת פחמן מופחתים בכבשן בטמפרטורה גבוהה לייצור סיליקון מתכת.
תהליך: סיליקון המתכת שנוצר מקורר, מרוסק ונמנע כדי להשיג אבקת סיליקון מתכת בגדלי חלקיקים שונים.
תצהיר אדי כימי (CVD):
עקרון: סילאן מתפרק לסיליקון ומימן בתנאי של דילול מימן גבוה בפעולה של אנרגיה חיצונית כמו חום, מיקרוגל, לייזר, פלזמה וכו ', ומעובה במהירות בסביבת שלב גז להכנת אבקת סיליקון ננו.
יישום: אבקת הסיליקון המתכתית שהוכנה בשיטה זו בעלת טוהר גבוה וגודל חלקיקים אחידים, המתאימה ליישומים אלקטרוניים בעלי דיוק גבוה.
שיטת פלזמה:
עקרון: הטמפרטורה הגבוהה ומאפייני האנרגיה הגבוהה של הפלזמה משמשים לפירוק חומר המקור לסיליקון לייצור אבקת סיליקון מתכת.
מאפיינים: אבקת הסיליקון המתכת שהוכנה בשיטה זו בעלת טוהר גבוה ופעילות גבוהה.
תהליך: לאחר מפוזרת כמות מסוימת של אבקת סיליקון גסה, היא נשלחת לקשת הפלזמה עם גז אינרטי ומחוממת באופן מיידי, כך שאבקת הסיליקון הגסה מתאדה באופן מיידי לאדי הסיליקון בטמפרטורה גבוהה יחסית. אדי הסיליקון נכנס אז לאזור הקירור ומעובה להפוך לאבקת סיליקון מתכתי ברמת ננו.
פרטי מוצר אבקת סיליקון מתכת
